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無(wú)錫施耐爾電子設(shè)備有限公司

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百級(jí)潔凈氮?dú)夤?SNR-COL-4M

發(fā)布日期：2022/04/08
相關(guān)技術(shù)指標(biāo)： 

1）潔凈等級(jí)

專業(yè)高效潔凈過(guò)濾裝置，濾網(wǎng)采用進(jìn)口超細(xì)玻璃纖維,確保潔凈柜內(nèi)CLASS 10~100級(jí)/1000級(jí)（10級(jí)一般是指空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒情況下，必潔淨(jìng)度能逹到須滿足每立方英尺內(nèi)顆粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。   

2）TDH實(shí)驗(yàn)

即存放在潔凈柜內(nèi)經(jīng)過(guò)干燥2小時(shí)的硅片不能有不正?；虺瑯?biāo)返顆粒的現(xiàn)象產(chǎn)生(返顆粒取樣測(cè)試后總數(shù)平均數(shù)與原有硅片顆粒數(shù)對(duì)比≦10ea (包括0.2um及0.3um))   

3）降濕速度

除濕性能可達(dá)到5%以下,空柜或每層放置固定數(shù)量晶圓盒，在氮?dú)饬髁坎淮笥?0L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時(shí)間不大于30min；

4) 進(jìn)口無(wú)塵風(fēng)機(jī)：采用進(jìn)口無(wú)塵室專用FFU風(fēng)機(jī)，面風(fēng)速：0.3～0.45m/s；

5）靜電殘余值測(cè)定施耐爾全功能潔凈氮?dú)夤瘢ㄟx配）

潔凈氮?dú)夤駜?nèi)放置的硅片盒，經(jīng)過(guò)干燥2小時(shí)后，硅片盒取樣及定點(diǎn)測(cè)試靜電值必須≦1kv

6）柜內(nèi)風(fēng)速均勻性

潔凈柜內(nèi)有氮?dú)獾臒o(wú)死角，可使用風(fēng)速測(cè)定儀來(lái)檢測(cè)內(nèi)部硅片放置各點(diǎn)的風(fēng)速，不能有較大差異。

7）溫濕度顯示及記錄管理。

溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達(dá)30米；

溫濕度顯示監(jiān)控: 可對(duì)溫濕度作24小時(shí)不間斷的監(jiān)控，在潔凈柜在完全關(guān)閉的情況下，濕度不能有超過(guò)±5%RH的波動(dòng)。

▲性能優(yōu)點(diǎn)：
控制系統(tǒng)為新一代微電腦傳感自動(dòng)控制充氮，氣體流量壓力可調(diào)，快速將氮?dú)鉀_入柜內(nèi)，使柜內(nèi)壓力略高于環(huán)境氣體壓力，保持足夠的氮?dú)鉂舛龋每刂乒駜?nèi)干燥及抗氧化性?？刂坪屑闪丝刂葡到y(tǒng)成為一個(gè)單獨(dú)模組,不僅穩(wěn)定性高，而且便于后期更換和維護(hù)升級(jí)?？刂坪袃?nèi)核心部件為進(jìn)口，保障產(chǎn)品的控制精度及設(shè)備的整體運(yùn)行穩(wěn)定。對(duì)存儲(chǔ)濕敏組件要求高、快速降濕干燥、開關(guān)門頻繁的現(xiàn)場(chǎng)作業(yè)起到至關(guān)重要防護(hù)?？刂葡到y(tǒng)設(shè)計(jì)為可長(zhǎng)年每天24小時(shí)不間斷運(yùn)行，加上可選加復(fù)合型控濕節(jié)氮主機(jī)，不僅起到斷電除濕防護(hù)，且至少節(jié)省一倍以上的氮?dú)?，微電腦自動(dòng)化設(shè)計(jì)，達(dá)到設(shè)定值自動(dòng)停止運(yùn)行，主機(jī)將處于半停止運(yùn)行狀態(tài)，延長(zhǎng)使用壽命。
▲自動(dòng)充氮：
采用自動(dòng)傳感感應(yīng)系統(tǒng),根據(jù)設(shè)定設(shè)定值自動(dòng)控制,氣體流量壓力可調(diào)，快速將氮?dú)鉀_入柜內(nèi)，使柜內(nèi)壓力略高于環(huán)境氣體壓力，保持足夠的氮?dú)鉂舛?。超過(guò)設(shè)定值時(shí)系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)打開氮?dú)夤?yīng)，均衡式供氣,使箱內(nèi)氮?dú)夥植急容^均勻。當(dāng)達(dá)到設(shè)定值時(shí)系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)切斷氮?dú)夤?yīng)，機(jī)將處于半停止運(yùn)行狀態(tài)，延長(zhǎng)其使用壽命。
▲控制方式：
控制儀采用高清雙數(shù)顯操控屏幕，濕度控制與溫度顯示各獨(dú)立運(yùn)行，溫度顯示范圍-9℃～99℃，精度±1℃。濕度顯示范圍1%～99%RH,精度±3%RH，溫濕度傳感采用美國(guó)原裝品牌honeywell,專用釆集模塊設(shè)計(jì)方便校驗(yàn)維護(hù)。

▲結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

?規(guī)格尺寸：W1300*D800*H1850mm。

?密封箱體：選用T1.2mm SUS304潔凈雙鏡面不銹鋼材質(zhì)，材質(zhì)制作前經(jīng)過(guò)多道程序潔凈及防銹處理，精密氬弧焊接，焊點(diǎn)光滑，確保箱體要做好的密封性能。
?柜門視窗：門框視窗為高強(qiáng)度壓裝5.0mm鋼化玻璃. 門開關(guān)采用平面加壓一體化把手鎖,具有防盜功能。
?密封方式：氣密式設(shè)計(jì)，耐老化，門與門框接合處采用防氧化磁性密封條,確保箱內(nèi)密封.
?預(yù)留升級(jí)：采用模塊式設(shè)計(jì)，預(yù)留擴(kuò)展接口，需要時(shí)可對(duì)低濕度及自動(dòng)充氮加裝升級(jí).

選配：自制氮?dú)庋b置、氧含量控制、不銹鋼箱體、溫濕度記錄軟件、報(bào)警裝置、箱內(nèi)照明等。

潔凈：潔凈等級(jí)十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)可選.